Sputtering-mål refererer til en forstøvningskilde, der sputteres og aflejres på et substrat under passende procesbetingelser ved magnetronforstøvning, multibue-ionplettering eller andre typer belægningsudstyr for at danne forskellige funktionelle film. Ifølge sammensætningen kan mål opdeles i rene metalmål, legeringsmål, oxidmål, silicidmål osv.; alt efter formen kan de opdeles i plane mål (rektangulære mål og buemål) og rørformede mål. . Sputtering-mål er meget udbredt inden for mange områder såsom dekoration, værktøj og forme, glas, elektroniske enheder, halvledere, magnetisk optagelse, flade skærme, solceller osv. Forskellige felter kræver forskellige målmaterialer.
1. Dekorativ belægning
Dekorativ belægning refererer hovedsageligt til overfladebelægning af mobiltelefoner, ure, briller, sanitetsartikler, hardwaredele og andre produkter. Det spiller ikke kun en rolle i at forskønne farven, men har også slidstyrke, korrosionsbestandighed og andre funktioner. De vigtigste varianter af mål til dekorativ belægning omfatter: krommål, titanmål, zirconiummål, nikkelmål, wolframmål, titanium-aluminiummål, rustfrit stålmål osv.
2. Belægning af bearbejdningsforme eller værktøjer
Det bruges hovedsageligt til overfladeforstærkning af værktøjer og forme, hvilket kan forbedre levetiden for værktøjer og forme og kvaliteten af forarbejdede dele betydeligt. I de seneste år, drevet af udviklingen af fly- og bilindustrien, har det tekniske niveau og produktionseffektiviteten i den globale fremstillingsindustri gjort store fremskridt, og efterspørgslen efter højtydende skæreværktøjer og forme stiger dag for dag. De vigtigste typer mål, der bruges til formbelægning, omfatter: titanium-aluminiummål, krommål, titaniummål osv.
3. Glasbelægning
Anvendelsen af målmaterialer på glas er hovedsageligt at producere lavstrålingsbelagt glas, som bruger princippet om magnetronsputtering til at sputtere flere lag tynde film på glas for at opnå funktionerne energibesparelse, lyskontrol og dekoration. Hovedtyperne af mål inkluderer: sølvmål, krommål, titaniummål, nikkel-chrommål, silicium-aluminiummål, titaniumoxidmål osv. En anden vigtig anvendelse af målmaterialer på glas er fremstillingen af bilspejle, hovedsageligt krom mål, aluminiummål, titaniumoxidmål osv. Efterhånden som kvalitetskravene til bilspejle fortsætter med at stige, har mange virksomheder skiftet fra den originale aluminiumspletteringsproces til vakuumforstøvningsforkromningsprocessen.
4. Belægning af elektronisk enhed
Belægninger til elektroniske apparater bruges hovedsageligt til tyndfilmsmodstande og tyndfilmskondensatorer. Målmaterialer til tyndfilmsmodstande omfatter NiCr-mål, nikkel-chrom-silicium (NiCrSi)-mål, chrom-silicium (CrSi)-mål, tantal (Ta)-mål, nikkel-chrom-aluminium (NiCrA1)-mål osv.
5. Flad skærmbelægning
Den hurtige vækst i efterspørgslen efter fladskærmsenheder fra bærbare personlige computere, fjernsyn, mobiltelefoner osv. har i høj grad fremmet udviklingen af forskellige typer fladskærmsenheder. Dens typer omfatter: flydende krystal displayenhed (LCD), plasma display enhed (PDP), osv. Alle disse fladskærms displayenheder bruger forskellige typer film. Uden tyndfilmteknologi ville der ikke være nogen fladskærmsenheder. For at sikre ensartetheden af store overfladebelægninger, forbedre produktiviteten og reducere omkostningerne, bruges sputterteknologi i stigende grad til at fremstille disse belægninger. Hovedtyperne af mål, der bruges til fladskærmsbelægning, inkluderer: krommål, molybdænmål, aluminiumslegeringsmål, kobbermål osv.
6. Halvlederbelægning
Den hurtige udvikling af informationsteknologi kræver, at integrerede kredsløb bliver mere og mere integrerede. Hver enhedsindretning er sammensat af et substrat, et isolerende lag, et dielektrisk lag, et lederlag og et beskyttende lag. Blandt dem, det dielektriske lag, lederlaget og endda det beskyttende lag. Sputtering-coatingprocessen bruges, så sputtermålet er et af kernematerialerne til fremstilling af integrerede kredsløb. Målmaterialer til halvlederbelægning kræver høj målrenhed, generelt over 4N eller 5N. De vigtigste sorter omfatter wolfram-titanium, titanium mål, aluminium mål og kobber mål.
